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科技成果

TECHNOLOGICAL ACHIEVEMENTS

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高純金屬制備技術(shù)詳解

發(fā)布時間:

2017-04-12 13:03


  高純金屬是現(xiàn)代許多高、新技術(shù)的綜合產(chǎn)物,雖然20世紀(jì)30年代便已出現(xiàn)“高純物質(zhì)”這一名稱,但把高純金屬的研究和生產(chǎn)提高到重要日程,是在二次世界大戰(zhàn)后,首先是原子能研究需要一系列高純金屬,而后隨著半導(dǎo)體技術(shù)、宇航、無線電電子學(xué)等的發(fā)展,對金屬純度要求越來越高,大大促進(jìn)了高純金屬生產(chǎn)的發(fā)展。
  純度對金屬有著三方面的意義。 第 一,金屬的一些性質(zhì)和純度關(guān)系密切。純鐵質(zhì)軟,含雜質(zhì)的鑄鐵才是堅硬的。另一方面,雜質(zhì)又是非常有害的,大多數(shù)金屬因含雜質(zhì)而發(fā)脆,對于半導(dǎo)體,極微量的雜質(zhì)就會引起材料性能非常明顯的變化。鍺、硅甲含有微量的m、V族元素、重金屬、堿金屬等有害雜質(zhì),可使半導(dǎo)體器件的電性能受到嚴(yán)重影響。第二,純度研究有助闡明金屬材料的結(jié)構(gòu)敏感性、雜質(zhì)對缺陷的影響等因素,并由此為開發(fā)預(yù)先給定材料性質(zhì)的新材料設(shè)計創(chuàng)造條件。第三,隨著金屬純度的不斷提高,將進(jìn)一步揭示出金屬的潛在性能,如普通金屬被是所有金屬中最脆的金屬。而在高純時被便出現(xiàn)低溫塑性,超高純時更具有高溫超塑性。超高純金屬的潛在性能的發(fā)現(xiàn),有可能開闊新的應(yīng)用領(lǐng)域,在材料學(xué)方面打開新的突破口,為高技術(shù)的延伸鋪平道路。
  金屬的純度是相對于雜質(zhì)而言的,廣義上雜質(zhì)包括化學(xué)雜質(zhì)(元素)和物理雜質(zhì)(晶體缺陷)。但是,只有當(dāng)金屬純度極高時,物理雜質(zhì)的概念才是有意義的,因此生產(chǎn)上一般仍以化學(xué)雜質(zhì)的含量作為評價金屬純度的標(biāo)準(zhǔn),即以主金屬減去雜質(zhì)總含量的百分?jǐn)?shù)表示,常用N(nine的第 一字母)代表。如99.9999%寫為6N,99.99999%寫為7N。此外,半導(dǎo)體材料還用載流子濃度和低溫遷移率表示純度。金屬用剩余電阻率RRR和純度級R表示純度。國際上關(guān)于純度的定義尚無統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。一般講,理論的純金屬應(yīng)是純凈完全不含雜質(zhì)的,并有恒定的熔點(diǎn)和晶體結(jié)構(gòu)。但技術(shù)上任何金屬都達(dá)不到不含雜質(zhì)的純度,故純金屬只有相對含義,它只是表明目前技術(shù)上能達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。隨著提純水平的提高,金屬的純度在不斷提高。例如,過去高純金屬的雜質(zhì)為10-6級(百萬分之幾),而超純半導(dǎo)體材料的雜質(zhì)達(dá)10一9級(十億分之幾),并逐步發(fā)展到10一12級(一萬億分之幾)。同時各個金屬的提純難度不盡相同,如半導(dǎo)體材料中稱9N以上為高純,而難熔金屬鎢等達(dá)6N已屬超高純。
  高純金屬制取通常分兩個步驟進(jìn)行,即純化(初步提純),和超純化(最終提純)。生產(chǎn)法大致分為化學(xué)提純和物理提姓兩類。為獲高純金屬,有效除去難以分離的雜質(zhì),往往需要將化學(xué)提純和物理提純配合使用,即在物理提純的同時,還進(jìn)行化學(xué)提純,如硅在無坩堝區(qū)熔融時可用氫作保護(hù)氣,如果在氫氣中加入少量水蒸氣,則水與硅中的硼起化學(xué)反應(yīng),可除去物理提純不能除去的硼。又如采用真空燒結(jié)法提純高熔點(diǎn)金屬鉭、鈮等時,為了脫碳,有時需要配人比化學(xué)計量稍過量的氧,或?yàn)槊撗跖淙艘欢〝?shù)量的碳,這種方法又稱為化學(xué)物理提純。

 


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